关于新三代机台新松机械手工位1示教说法是否正确（ ）（1）在示教模式下，低速移动机械手至 PM1 中（X+/X-，Y+/Y-和 Z+/Z-），使手指高度低于石墨盘平台的高度，记录当下(X1，Y1，Z1)的值作参考值，点击 X-慢速控制手指缩回到 TM。
（2）在 PM1 内放石墨盘，在示教模式下，参照步骤 1 记录的（X1,Y1,Z1）参考值，低速移动机械手至 PMA 中石墨盘的正下方。
（3）调整机械手位置，使石墨盘位于手指的水平中心，并在正下方。使机械手到石墨盘的距离大概在 3-5mm. 并记录手指坐标为（X2,Y2,Z2）。
（4）缓慢上升手指高度，直到机械手上表面到腔体上界限的距离和石墨盘下端到腔体的下界限的距离相等，可以安全实现取放盘动作，并记录 Z 轴坐标为 Z3。
（5）操控机械手 Z+/Z-上升并放下托盘 3 次，确认托盘上升和放下过程中都很平顺，没有碰撞。如果发现有任何碰撞或刮蹭，继续调整机械手位置，并重复确认 3 次。
（6）将托盘上升至 Z3 高度，记录此时的实时关节值，便可定义为#1 号工位的R/T/B 值。
示教模式→“主菜单” →“用户” →“洁净” →“位置” →“STNA” →“1” →“确认” →“确认” →修改 lower 值→“退出”将当前坐标值写入到工位 1 相应坐标中，随后将 Z3-Z2 的差值输入到“lower”一项中。并按按“退出”键保存当前的工位坐标值。
（7）放下托盘至 Z2 高度，按 X-慢速控制手指回到 TM。
（8）将石磨盘从 PM1 取出，在没有石磨盘的情况下进行取放盘操作。
示教模式→“用户” →“洁净” →“位置” →“STNA” →“1” → “确认”；
MOTION →HOME →确 认 ，
取 盘 ： GOTO → 确 认 , DOWN → 确 认 , EXTEND → 确 认 , UP → 确认,RETRACT→确认.
放盘： GOTO →确认, UP→确认, EXTEND→确认, DOWN→确认,RETRACT→确认.
确认整个流程的位置无误后，在 PM1 内放入石磨盘， 在有盘的情况下再做取放盘进行验证。（此步骤可以参照工位位置验证）
（9）取放托盘几次，确认位置准确。如有偏差请从第 2 步骤开始重新调整机械手位置
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